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Grüger, Heinrich
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'Grüger, Heinrich'
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung von Kohlenstoffnitridschichten
von
Grüger, Heinrich
veröffentlicht 1999
Buch
Kohlenstoffnitridschicht
IONENIMPLANTATION
Plasma-CVD-Beschichtung
Kohlenstoffverbindung
Nitrid
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Grüger, Heinrich
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Deutsch
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Buch, E-Book
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VDEH
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